PMGS/IPC5 (F28G) ** メイングループ/ファセット選択 **
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  • 1/00
  • 非回転,例.往復動,機器(3/00が優先)
  • 3/00
  • 回転機器
  • 5/00
  • ねじりによる清掃(振動によるもの7/00)
  • 7/00
  • 振動による清掃
  • 9/00
  • フラッシングまたは洗浄による清掃,例.化学的溶剤による(くずを除去するため流体噴射を用いる機器1/16,3/16)
  • 11/00
  • 燃焼法による清掃,例.爆竹(squibs)を用いるもの,移動バーナを用いるもの
  • 13/00
  • グループ1/00から11/00に包含されない機器または方法;グループ1/00から11/00に包含される機器または方法の組み合わせ
  • 15/00
  • 細部(沈積物の厚さの測定G01B)


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